Химийн уураар тунадасжуулах

Химийн уураар тунадасжуулах (Англи: Chemical vapor deposition, CVD) арга нь каталистын гадаргуу дээр нүүрсустөрөгчийг шингээж ургуулах процессийг хэлнэ.

CVD-ийн төрлүүд

Өндөр даралт ашиглан химийн уураар тундасжуулах (Atmospheric Pressure Chemical Vapour Deposition, APCVD)
Нам даралт ашиглан химийн уураар тундасжуулах (Low Pressure Chemical Vapour Deposition, LPCVD)
Метал-органик орчинд химийн уураар тундасжуулах (Metal-Organic Chemical Vapour Deposition, MOCVD)
Плазм ашиглан химийн уураар тундасжуулах (Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition, PACVD)
Лазер ашиглан химийн уураар тундасжуулах (Laser Chemical Vapour Deposition, LCVD)
Фотохимийн аргаар ууршуулан тундасжуулах (Photochemical Vapour Deposition, PCVD)
Химийн шүүх аргаар тундасжуулах (Chemical Vapour Infiltration, CVI)

Хэрэглээ

Нано хоолойг гарган авах

Бал чулууны бүтэц нь зургаан талт тойрог бүтцээс тогтсон нимгэн хуулдсууд юм. Энэ нимгэн нэг атомын зузаантай хуулдсанд дандаа 6 талт хэлбэр бүхий холбоос байгаа. Түүний зарим нэг холбоосыг 5 талтаар сольбол бөмбөрцөг хэлбэртэй буюу buckyball молекул үүснэ. Нано хоолой нь хий, шингэн, хатуу төлөвийн зарчимтай.

Тусгай шингэн дотор графит анод катодын хооронд электролиз явуулснаар үүссэн тунадас нь маш их хэмжээний CNT үүсдэг бөгөөд CNT нь электролизэд хэрэглэгдсэн бодисоор дүүргэгддэг сул талтай. Гэвч зарим тохиолдолд төрөл бүрийн бодисоор дүүргэгдсэн CNT гаргаж авах шаардлага гардаг байна. Хэрэв энэ нимгэн хуулдсыг хуйлж болдог байгаад, битүүлж наавал нимгэн ханатай хоолой хэлбэртэй болно. CNT нь үндсэндээ хуйлсан графин (Бал чулууны нэг хуулдас)-ы хоолой бөгөөд графины нүүрстөрөгчийн 6 талт холбооны симметрийн тэнхлэгтэй ямар өнцгөөр хуйлав гэдгээрээ эрс тэс өөр өөр шинж чанартай хоолойнууд болдог маш сонирхолтой нано-материал юм.

Дараах дараалалтай:

Substrate гадаргуу нь каталистын нимгэн үеэр бүрхэгдсэн байна.
Substrate-ийн гадаргууг өндөр температурт оруулдаг үүнд хатууу биетийг ашиглана.
Үүний дараа каталистийн гадаргуу дээр C²H²-ийн нэгдэл үүснэ.
C²H²-ийн нэгдлээс Н-ийн атом салж С-ийн атом каталист-д нэвчинэ.
Ингэснээр carbon нь каталистын гадаргууд дахин нэвчих боломжгүй болтлоо ханана.
Нүүрстөрөгчийн нано туфээс нүүрстөрөгчийг нь ялгаж авдаг.

Алмаз гарган авах

Маш цэвэр хатуу материалыг химийн аргаар гарган авахыг химийн уураар тунадасжуулах арга гэнэ. Энэ процессийг ашиглан нимгэн үеэс тогтсон хагас дамжуулагчийг гарган авдаг. Маш энгийнээр тайлбарлавал вафлийн зөвхөн печенийг substrate гэж үзвэл түүний өрмөнцөрийг суулгахдаа химийн тунадасжуулах арга ашиглана.

Алмаз нь туйлын хатуу бөгөөд бадмаараг, sapphire-аас ч хатуу зүйл юм. Үүнийг 2 аргаар гарган авдаг.

Химийн уураар тунадасжуулан хиймэлээр гарган авдаг.
Байгалиас гарган авдаг.

Явагдах процесc

Substracte–ээ оксидийн орчинд оруулна. Substracte дээрээ идэвхтэй нүүрстөрөгчийн үе суулгана. CH метаны химийн орчинд дээгүүрээ алмазаар бүрсэн substracte оруулбал метаны нэгдлүүд ирж суугаад disiotsiatsi хийсний үндсэн дээр нүүрстөрөгч нь substracte-д нэвчин устөрөгч нь гадагшилдаг.