Дүрс задлагч электрон микроскоп
Дүрс задлагч электродын микроскоп (SEM) нь электронуудын төвлөрсөн туяагаар гадаргуун дүрсийг задлах замаар дээж зураг гаргадаг электрон микроскопын төрөл юм. Электронууд дээж дэх атомуудтай харилцан үйлчилж, гадаргуун топографи болон дээжийн найрлагын мэдээллийг агуулсан янз бүрийн дохиог үүсгэдэг. Электрон цацрагийг цэгэн дүрс задлагч загвараар сканнердах ба цацрагийн байрлал ба илрүүлсэн дохионы эрчтэй хослуулан дүрсийг гаргадаг. Хамгийн түгээмэл SEM загварт электрон цацрагаар өдөөгдсөн атомуудаас ялгарах хоёрдогч электронуудыг хоёрдогч электрон детектор (Everhart-Thornley детектор) ашиглан илрүүлдэг. Илрүүлж болох хоёрдогч электронуудын тоо, улмаар дохионы эрч хүч нь сорьцын топографаас хамаарна. Зарим SEM нь 1 нанометрээс илүү нарийвчлалд хүрч чаддаг.
Түүх
засварлахДүрс задлагч электрон микроскопийн анхны түүхийг МакМуллан танилцуулсан. Хэдийгээр Макс Нолл электрон цацрагийн дүрс задлагч ашиглан сувагчлал тодосгогчийг харуулсан биетийн талбайн өргөнтэй 50 мм-ийн гэрэл зургийг бүтээж байсан ч 1937 онд Манфред фон Арденн өчүүхэн болгон багасгасан болоод нарийн төвлөрсөн электрон цацрагийг цэгэн дүрс задлах замаар өндөр нарийвчлалтай микроскоп зохион бүтээжээ.